BS-4020A មីក្រូទស្សន៍អធិការកិច្ច Wafer ឧស្សាហកម្ម Trinocular

សេចក្តីផ្តើម
មីក្រូទស្សន៍អធិការកិច្ចឧស្សាហកម្ម BS-4020A ត្រូវបានរចនាឡើងយ៉ាងពិសេសសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យ wafers ទំហំផ្សេងៗ និង PCB ធំ។ មីក្រូទស្សន៍នេះអាចផ្តល់នូវបទពិសោធន៍សង្កេតដែលអាចទុកចិត្តបាន ផាសុកភាព និងច្បាស់លាស់។ ជាមួយនឹងរចនាសម្ព័ន្ធដែលបានអនុវត្តយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះ ប្រព័ន្ធអុបទិកនិយមន័យខ្ពស់ និងប្រព័ន្ធប្រតិបត្តិការ ergonomical BS-4020 ដឹងពីការវិភាគប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈ និងបំពេញតាមតម្រូវការផ្សេងៗនៃការស្រាវជ្រាវ និងការត្រួតពិនិត្យនៃ wafers, FPD, កញ្ចប់សៀគ្វី, PCB, វិទ្យាសាស្រ្តសម្ភារៈ, ការសម្ដែងភាពជាក់លាក់, metalloceramics, ផ្សិតភាពជាក់លាក់, semiconductor និងអេឡិចត្រូនិចជាដើម។
1. ប្រព័ន្ធបំភ្លឺមីក្រូទស្សន៍ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។
មីក្រូទស្សន៍ភ្ជាប់មកជាមួយការបំភ្លឺរបស់ Kohler ផ្តល់នូវការបំភ្លឺភ្លឺ និងឯកសណ្ឋានទូទាំងផ្នែកមើល។ ដោយមានការសម្របសម្រួលជាមួយប្រព័ន្ធអុបទិកគ្មានដែនកំណត់ NIS45 គោលបំណង NA ខ្ពស់ និង LWD ការថតរូបមីក្រូទស្សន៍ដ៏ល្អឥតខ្ចោះអាចត្រូវបានផ្តល់ជូន។

លក្ខណៈពិសេស


វាលភ្លឺនៃការបំភ្លឺឆ្លុះបញ្ចាំង
BS-4020A ទទួលយកប្រព័ន្ធអុបទិកគ្មានដែនកំណត់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ កន្លែងមើលគឺឯកសណ្ឋាន ភ្លឺ និងមានកម្រិតបន្តពូជពណ៌ខ្ពស់។ វាជាការសមរម្យដើម្បីសង្កេតមើលគំរូ semiconductors ស្រអាប់។
វាលងងឹត
វាអាចដឹងរូបភាពនិយមន័យខ្ពស់នៅពេលសង្កេតកន្លែងងងឹត និងការត្រួតពិនិត្យដែលមានភាពប្រែប្រួលខ្ពស់ចំពោះកំហុសដូចជាស្នាមឆ្កូតល្អ។ វាសមស្របសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យផ្ទៃនៃគំរូដែលមានតម្រូវការខ្ពស់។
វាលភ្លឺនៃការបំភ្លឺបញ្ជូន
សម្រាប់គំរូថ្លា ដូចជា FPD និងធាតុអុបទិក ការសង្កេតវាលភ្លឺអាចដឹងបានដោយ condenser នៃពន្លឺបញ្ជូន។ វាក៏អាចប្រើជាមួយ DIC, polarization សាមញ្ញ និងគ្រឿងបន្ថែមផ្សេងទៀត។
បន្ទាត់រាងប៉ូលសាមញ្ញ
វិធីសាស្រ្តសង្កេតនេះគឺសមរម្យសម្រាប់សំណាក birefringence ដូចជាជាលិកាលោហធាតុ សារធាតុរ៉ែ LCD និងសម្ភារៈ semiconductor ។
ការឆ្លុះបញ្ចាំង DIC
វិធីសាស្រ្តនេះត្រូវបានប្រើដើម្បីសង្កេតមើលភាពខុសគ្នាតូចៗនៅក្នុងផ្សិតដែលមានភាពជាក់លាក់។ បច្ចេកទេសសង្កេតអាចបង្ហាញពីភាពខុសគ្នានៃកម្ពស់ដ៏តូចដែលមិនអាចមើលឃើញក្នុងវិធីសង្កេតធម្មតាក្នុងទម្រង់ជារូបភាពក្រឡោត និងរូបភាពបីវិមាត្រ។





2. គុណភាពខ្ពស់ Semi-APO និង APO Bright field & Dark field objectives ។
តាមរយៈការទទួលយកបច្ចេកវិជ្ជាថ្នាំកូតពហុស្រទាប់ កញ្ចក់គោលបំណងស៊េរី NIS45 Semi-APO និង APO អាចទូទាត់សងនូវភាពមិនប្រក្រតីនៃរាងស្វ៊ែរ និងភាពមិនប្រក្រតីនៃពណ៌ពីអ៊ុលត្រាវីយូឡេទៅជិតអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។ ភាពច្បាស់ គុណភាពបង្ហាញ និងការបង្ហាញពណ៌នៃរូបភាពអាចត្រូវបានធានា។ រូបភាពដែលមានគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់ និងរូបភាពរាបស្មើសម្រាប់ការពង្រីកផ្សេងៗអាចទទួលបាន។

3. បន្ទះប្រតិបត្តិការគឺនៅខាងមុខមីក្រូទស្សន៍ងាយស្រួលដំណើរការ។
បន្ទះត្រួតពិនិត្យយន្តការមានទីតាំងនៅខាងមុខមីក្រូទស្សន៍ (នៅជិតប្រតិបត្តិករ) ដែលធ្វើឱ្យប្រតិបត្តិការកាន់តែលឿន និងងាយស្រួលនៅពេលសង្កេតមើលគំរូ។ ហើយវាអាចកាត់បន្ថយភាពអស់កម្លាំងដែលបណ្តាលមកពីការសង្កេតរយៈពេលយូរ និងធូលីអណ្តែតដែលនាំមកដោយជួរដ៏ធំនៃចលនា។

4. Ergo tilting ក្បាលមើលត្រីភាគី។
ក្បាលមើលការផ្អៀង Ergo អាចធ្វើឱ្យការសង្កេតកាន់តែមានផាសុកភាព ដើម្បីកាត់បន្ថយភាពតានតឹងសាច់ដុំ និងភាពមិនស្រួលដែលបណ្តាលមកពីការធ្វើការងារយូរម៉ោង។

5. យន្តការផ្តោតអារម្មណ៍ និងចំណុចទាញលៃតម្រូវដ៏ល្អនៃដំណាក់កាលជាមួយនឹងទីតាំងដៃទាប។
យន្តការផ្តោតអារម្មណ៍ និងចំណុចទាញការលៃតម្រូវដ៏ល្អនៃដំណាក់កាលទទួលយកការរចនាទីតាំងដៃទាប ដែលអនុលោមតាមការរចនា ergonomic ។ អ្នកប្រើប្រាស់មិនចាំបាច់លើកដៃឡើងនៅពេលប្រតិបត្តិការ ដែលផ្តល់នូវកម្រិតដ៏អស្ចារ្យបំផុតនៃអារម្មណ៍សុខស្រួល។

6. ដំណាក់កាលមានចំណុចទាញដែលភ្ជាប់មកជាមួយ។
ចំណុចទាញក្ដាប់អាចដឹងពីរបៀបចលនាលឿន និងយឺតនៃដំណាក់កាល ហើយអាចកំណត់ទីតាំងគំរូធំបានយ៉ាងលឿន។ វានឹងលែងពិបាកក្នុងការកំណត់ទីតាំងគំរូយ៉ាងលឿននិងត្រឹមត្រូវទៀតហើយនៅពេលប្រើរួមជាមួយនឹងចំណុចទាញនៃការកែសម្រួលដ៏ល្អនៃដំណាក់កាល។
7. ដំណាក់កាលធំ (14 "x 12") អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ wafers ធំនិង PCB ។
ផ្នែកនៃគំរូមីក្រូអេឡិចត្រូនិច និងសារធាតុ semiconductor ជាពិសេស wafer មានទំនោរមានទំហំធំ ដូច្នេះដំណាក់កាលមីក្រូទស្សន៍ metallographic ធម្មតាមិនអាចបំពេញតម្រូវការសង្កេតរបស់ពួកគេបានទេ។ BS-4020A មានដំណាក់កាលធំមួយដែលមានជួរចលនាធំ ហើយវាងាយស្រួល និងងាយស្រួលក្នុងការផ្លាស់ទី។ ដូច្នេះវាគឺជាឧបករណ៍ដ៏ល្អសម្រាប់ការសង្កេតមីក្រូទស្សន៍នៃគំរូឧស្សាហកម្មតំបន់ធំ។
8. អ្នកកាន់ wafers 12" ភ្ជាប់មកជាមួយមីក្រូទស្សន៍។
12" wafer និងទំហំតូចជាង wafer អាចត្រូវបានគេសង្កេតឃើញជាមួយនឹងមីក្រូទស្សន៍នេះ ជាមួយនឹងចំណុចទាញដំណាក់កាលចលនាលឿន និងល្អ វាអាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការងារយ៉ាងខ្លាំង។
9. គម្របការពារប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្តអាចកាត់បន្ថយធូលី។
សំណាកឧស្សាហកម្មគួរតែនៅឆ្ងាយពីធូលីអណ្តែត ហើយធូលីបន្តិចអាចប៉ះពាល់ដល់គុណភាពផលិតផល និងលទ្ធផលតេស្ត។ BS-4020A មានផ្ទៃធំនៃគម្របការពារប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត ដែលអាចការពារពីធូលីអណ្តែត និងធូលីដែលធ្លាក់ ដើម្បីការពារគំរូ និងធ្វើឱ្យលទ្ធផលតេស្តមានភាពសុក្រិតជាងមុន។
10. ចម្ងាយការងារយូរជាង និងគោលបំណង NA ខ្ពស់។
សមាសធាតុអេឡិចត្រូនិច និងសារធាតុ semiconductors នៅលើគំរូបន្ទះសៀគ្វីមានកម្ពស់ខុសគ្នា។ ដូច្នេះហើយ គោលដៅការងារចម្ងាយឆ្ងាយត្រូវបានអនុម័តលើមីក្រូទស្សន៍នេះ។ ទន្ទឹមនឹងនេះ ដើម្បីបំពេញតម្រូវការខ្ពស់របស់គំរូឧស្សាហកម្មលើការផលិតពណ៌ បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតពហុស្រទាប់ត្រូវបានបង្កើតឡើង និងធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងក្នុងរយៈពេលជាច្រើនឆ្នាំ ហើយគោលបំណង BF&DF ពាក់កណ្តាល APO និង APO ដែលមាន NA ខ្ពស់ត្រូវបានអនុម័ត ដែលអាចស្តារពណ៌ពិតនៃគំរូ។ .
11. វិធីសាស្រ្តសង្កេតផ្សេងៗអាចបំពេញតម្រូវការការធ្វើតេស្តចម្រុះ។
ការបំភ្លឺ | វាលភ្លឺ | វាលងងឹត | ឌី.ស៊ី | ពន្លឺ fluorescent | ពន្លឺប៉ូឡារីស |
ការបំភ្លឺដែលឆ្លុះបញ្ចាំង | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
ការបំភ្លឺដែលបានបញ្ជូន | ○ | - | - | - | ○ |
ការដាក់ពាក្យ
មីក្រូទស្សន៍អធិការកិច្ចឧស្សាហកម្ម BS-4020A គឺជាឧបករណ៍ដ៏ល្អសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យ wafers ទំហំផ្សេងៗ និង PCB ធំ។ មីក្រូទស្សន៍នេះអាចត្រូវបានប្រើនៅក្នុងសាកលវិទ្យាល័យ រោងចក្រអេឡិចត្រូនិច និងបន្ទះសៀគ្វីសម្រាប់ការស្រាវជ្រាវ និងការត្រួតពិនិត្យ wafers, FPD, circuit package, PCB, material science, precision casting, metalloceramics, precision mold, semiconductor និង electronics ជាដើម។
ការបញ្ជាក់
ធាតុ | ការបញ្ជាក់ | BS-4020A | BS-4020B | |
ប្រព័ន្ធអុបទិក | ប្រព័ន្ធអុបទិកកែតម្រូវពណ៌គ្មានកំណត់ NIS45 (ប្រវែងបំពង់: 200mm) | ● | ● | |
ក្បាលមើល | Ergo Tilting Trinocular Head, លៃតម្រូវ 0-35 ° inclined, ចម្ងាយ interpupillary 47mm-78mm; សមាមាត្របំបែកកែវភ្នែក៖ ត្រីកោណមាត្រ = 100:0 ឬ 20:80 ឬ 0:100 | ● | ● | |
ក្បាលត្រីកោណ Seidentopf, ទំនោរ 30 °, ចម្ងាយ interpupillary: 47mm-78mm; សមាមាត្របំបែកកែវភ្នែក៖ ត្រីកោណមាត្រ = 100:0 ឬ 20:80 ឬ 0:100 | ○ | ○ | ||
Seidentopf Binocular Head, ទំនោរ 30°, ចម្ងាយ interpupillary: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
កែវភ្នែក | កែវយឹត SW10X/25mm គម្រោងប្លង់វាលធំទូលាយ អាចលៃតម្រូវបាន។ | ● | ● | |
គ្រាប់ភ្នែកគម្រោងវាលធំទូលាយ SW10X/22mm, diopter លៃតម្រូវបាន។ | ○ | ○ | ||
កែវពង្រីកបន្ថែម EW12.5X/17.5mm, diopter លៃតម្រូវបាន។ | ○ | ○ | ||
កែវភ្នែកផែនការវាលធំទូលាយ WF15X/16mm, diopter លៃតម្រូវបាន។ | ○ | ○ | ||
កែវភ្នែកផែនការវាលធំទូលាយ WF20X/12mm, diopter លៃតម្រូវបាន។ | ○ | ○ | ||
កម្មវត្ថុ | NIS45 Infinite LWD Plan Semi-APO Objective (BF & DF), M26 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ● | ● |
10X/NA=0.3, WD=11mm | ● | ● | ||
20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ● | ● | ||
NIS45 Infinite LWD Plan APO Objective (BF & DF), M26 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ● | ● | |
100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ● | ● | ||
NIS60 Infinite LWD Plan Semi-APO Objective (BF), M25 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ○ | ○ | |
10X/NA=0.3, WD=11mm | ○ | ○ | ||
20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ○ | ○ | ||
NIS60 Infinite LWD Plan APO Objective (BF), M25 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ○ | ○ | |
100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ○ | ○ | ||
ដុំសំបោរ | ប្រដាប់បន្តពូជផ្លូវភេទខាងក្រោយ (មានរន្ធដោត DIC) | ● | ● | |
កុងដង់សឺរ | LWD condenser NA0.65 | ○ | ● | |
ការបំភ្លឺដែលបានបញ្ជូន | ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល LED 40W ជាមួយនឹងមគ្គុទ្ទេសក៍ពន្លឺសរសៃអុបទិក, អាំងតង់ស៊ីតេលៃតម្រូវបាន។ | ○ | ● | |
ការបំភ្លឺដែលឆ្លុះបញ្ចាំង | ចង្កៀង halogen 24V/100W ឆ្លុះ, Koehler បំភ្លឺ, ជាមួយ 6 ទីតាំង turret | ● | ● | |
ផ្ទះចង្កៀង halogen 100W | ● | ● | ||
ពន្លឺឆ្លុះបញ្ចាំងជាមួយអំពូល LED 5W ការបំភ្លឺ Koehler ជាមួយនឹង 6 ទីតាំង turret | ○ | ○ | ||
ម៉ូឌុលវាលភ្លឺ BF1 | ● | ● | ||
ម៉ូឌុលវាលភ្លឺ BF2 | ● | ● | ||
ម៉ូឌុលវាលងងឹត DF | ● | ● | ||
តម្រង ND6, ND25 ដែលភ្ជាប់មកជាមួយ និងតម្រងកែពណ៌ | ○ | ○ | ||
មុខងារអេកូ | មុខងារ ECO ជាមួយប៊ូតុង ECO | ● | ● | |
ការផ្តោតអារម្មណ៍ | ទីតាំងទាប coaxial coarse និងការផ្តោតអារម្មណ៍ល្អ, ការបែងចែកដ៏ល្អ 1μm, ជួរផ្លាស់ទី 35mm | ● | ● | |
ដំណាក់កាល | ដំណាក់កាលមេកានិក 3 ស្រទាប់ជាមួយនឹងចំណុចទាញដែលមានទំហំ 14"x12" (356mmx305mm); ជួរផ្លាស់ទី 356mmX305mm; តំបន់ពន្លឺសម្រាប់ពន្លឺបញ្ជូន: 356x284mm ។ | ● | ● | |
អ្នកកាន់ wafer: អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីកាន់ wafer 12 " | ● | ● | ||
កញ្ចប់ DIC | កញ្ចប់ DIC សម្រាប់ការបំភ្លឺដែលឆ្លុះបញ្ចាំង (អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់គោលបំណង 10X, 20X, 50X, 100X) | ○ | ○ | |
កញ្ចប់ប៉ូឡារីស | Polarizer សម្រាប់បំភ្លឺឆ្លុះបញ្ចាំង | ○ | ○ | |
ឧបករណ៍វិភាគសម្រាប់ការបំភ្លឺឆ្លុះបញ្ចាំង 0-360° អាចបង្វិលបាន។ | ○ | ○ | ||
Polarizer សម្រាប់បំភ្លឺបញ្ជូន | ○ | ○ | ||
ឧបករណ៍វិភាគសម្រាប់ការបំភ្លឺបញ្ជូន | ○ | ○ | ||
គ្រឿងបន្លាស់ផ្សេងៗ | អាដាប់ធ័រ C-mount 0.5X | ○ | ○ | |
អាដាប់ទ័រ 1X C-mount | ○ | ○ | ||
គម្របធូលី | ● | ● | ||
ខ្សែថាមពល | ● | ● | ||
ស្លាយ ០.០១ ម។ | ○ | ○ | ||
ឧបករណ៍ចុចសំណាក | ○ | ○ |
ចំណាំ៖ ● សំលៀកបំពាក់ស្តង់ដារ ○ ស្រេចចិត្ត
រូបភាពគំរូ





វិមាត្រ

ឯកតា៖ ម។
ដ្យាក្រាមប្រព័ន្ធ

វិញ្ញាបនបត្រ

ភស្តុភារ
